エキシマーレーザーCVDによる高性能イオン導電性超格子薄膜の創製

Author(s)

• 嵐, 治夫 アラシ, ハルオ

Bibliographic Information

エキシマーレーザーCVDによる高性能イオン導電性超格子薄膜の創製

嵐治夫研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書）

[嵐治夫], 1993.3

Other Title

平成4年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書(研究課題番号03555163)

Title Transcription

エキシマーレーザー CVD ニ ヨル コウセイノウ イオン ドウデンセイ チョウコウシ ハクマク ノ ソウセイ

• NCID: BB11920362
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 80p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN07858102