高分解能マイクロエリプソメータによる化合物薄膜の局所解析

著者

• 杉本, 克久 スギモト, カツヒサ

書誌事項

高分解能マイクロエリプソメータによる化合物薄膜の局所解析

杉本克久研究代表者

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成3年度）

[杉本克久], 1992.3

タイトル別名

平成3年度科学研究費補助金(一般研究(C))研究成果報告書 : 課題番号 02650505

タイトル読み

コウブンカイノウ マイクロエリプソメータ ニ ヨル カゴウブツ ハクマク ノ キョクショ カイセキ

注記

課題番号: 02650505

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB12284063
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 43p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BN03663735