電気化学的微細加工技術の開発とマイクロ化電極の応用に関する研究

書誌事項

電気化学的微細加工技術の開発とマイクロ化電極の応用に関する研究

内田勇研究代表者

(科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, 平成元年度-平成2年度)

[内田勇], 1991.10

タイトル別名

平成元年~2年度科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書 : (研究課題番号 01850175)

タイトル読み

デンキ カガクテキ ビサイ カコウ ギジュツ ノ カイハツ ト マイクロカ デンキョク ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ

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注記

課題番号: 01850175

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB12317333
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [仙台]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    26cm
  • 親書誌ID
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