任意形状の迅速・高精度測定のための差動オートコリメーションプローブの開発
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書誌事項
任意形状の迅速・高精度測定のための差動オートコリメーションプローブの開発
（科学研究費補助金(試験研究1)研究成果報告書, 平成元年度）
[鎌田治], 1990.3
- タイトル別名
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平成元年度科学研究費補助金(試験研究(1))研究成果報告書 : (研究課題番号 63850028)
任意形状鏡面の迅速・高精度測定のための差動オートコリメーションプローブの開発
- タイトル読み
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ニンイ ケイジョウ ノ ジンソク コウセイド ソクテイ ノ タメ ノ サドウ オートコリメーションプローブ ノ カイハツ
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注記
課題番号: 63850028
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科研費データベースにおけるタイトル: 任意形状鏡面の迅速・高精度測定のための差動オートコリメーションプローブの開発