流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発

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流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発

阿尻雅文研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究1)研究成果報告書, 昭和63年度-平成元年度）

[阿尻雅文], 1990.3

Other Title

昭和63, 平成元年度科学研究費補助金(試験(1))研究成果報告書 : (研究課題番号 63850187)

Title Transcription

リュウドウソウ リュウシ ジュンカンケイ オ モチイタ タケッショウ シリコン セイゾウ プロセス ノ カイハツ

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Note

課題番号: 63850187

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Details

  • NCID
    BB12363818
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    82p
  • Size
    26cm
  • Parent Bibliography ID
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