二周波数励起低運動エネルギイオン照射プロセス成膜装置の開発

著者

• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ

書誌事項

二周波数励起低運動エネルギイオン照射プロセス成膜装置の開発

大見忠弘研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 平成元年度）

[大見忠弘], 1990.3

タイトル別名

平成元年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書 : (課題番号 63850058)

タイトル読み

ニシュウハスウ レイキ テイウンドウ エネルギイオン ショウシャ プロセス セイマク ソウチ ノ カイハツ

注記

課題番号: 63850058

• NII書誌ID(NCID): BB1236839X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 184p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BA31269048