高キュリー点結晶を用いたヒステリシスのない超精密圧電アクチュエータの開発
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書誌事項
高キュリー点結晶を用いたヒステリシスのない超精密圧電アクチュエータの開発
(科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 平成元年度)
[中村僖良], 1990.3
- タイトル別名
-
平成元年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書 : (63850073)
- タイトル読み
-
コウキュリーテン ケッショウ オ モチイタ ヒステリシス ノ ナイ チョウセイミツ アツデン アクチュエータ ノ カイハツ
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注記
課題番号: 63850073
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文献: p44-45
付録(発表論文): p46-79