RF-DC結合型バイアススパッタ装置
著者
書誌事項
RF-DC結合型バイアススパッタ装置
(科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 昭和62年度)
[柴田直], 1989.3
- タイトル別名
-
昭和62年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書(課題番号62850050)
- タイトル読み
-
RF-DC ケツゴウガタ バイアス スパッタ ソウチ
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