ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎
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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎
コロナ社, 2013.5
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Introduction to dry processing for surface finishing and thin film coating
ドライプロセスによる表面処理薄膜形成の基礎
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ドライ プロセス ニヨル ヒョウメン ショリ ハクマク ケイセイ ノ キソ
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Note
引用・参考文献: p[186]-195
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 1 ドライプロセスとプラズマ(表面処理;ドライプロセスと真空 ほか)
- 2 真空およびプラズマ(真空;プラズマ ほか)
- 3 ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成(真空蒸着;イオンプレーティング ほか)
- 4 分析と評価(膜厚測定;表面分析 ほか)
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