熱CVD法による成膜過程のモンテカルロシミュレーション

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熱CVD法による成膜過程のモンテカルロシミュレーション

南部健一研究代表者

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成元年度）

[南部健一], 1990.3

Other Title

平成元年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書 : (研究課題番号 01550132)

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ネツ CVDホウ ニ ヨル セイマク カテイ ノ モンテカルロシミュレーション

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Note

課題番号: 01550132

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Details

  • NCID
    BB12470578
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    25p
  • Size
    26cm
  • Parent Bibliography ID
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