超精密加工機械案内面のうねり形状測定における高精度化と迅速化に関する研究
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超精密加工機械案内面のうねり形状測定における高精度化と迅速化に関する研究
（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 昭和61年度）
清野慧, 1987.3
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昭和61年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書(課題番号 60550080)
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チョウセイミツ カコウ キカイ アンナイメン ノ ウネリ ケイジョウ ソクテイ ニ オケル コウセイドカ ト ジンソクカ ニ カンスル ケンキュウ
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Note
研究課題番号: 60550080
研究代表者: 清野慧 (東北大学 工学部 助教授)