医用低ドリフトモノリシック容量形圧力センサの開発

著者

• 松尾, 正之 マツオ, タダユキ

書誌事項

医用低ドリフトモノリシック容量形圧力センサの開発

研究代表者 松尾正之

（科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 昭和61年度）

[松尾正之], 1987.3

タイトル別名

昭和61年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書(課題番号 60850075)

試験研究(2) 60850075 医用低ドリフトモノリシック容量形圧力センサの開発

タイトル読み

イヨウ テイドリフトモノリシック ヨウリョウケイ アツリョク センサ ノ カイハツ

注記

研究課題番号: 60850075

研究代表者: 松尾正之 (東北大学)

• NII書誌ID(NCID): BB12548937
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 36, [4]p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BA31269048