医用低ドリフトモノリシック容量形圧力センサの開発

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医用低ドリフトモノリシック容量形圧力センサの開発

研究代表者 松尾正之

（科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 昭和61年度）

[松尾正之], 1987.3

Other Title

昭和61年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書(課題番号 60850075)

試験研究(2) 60850075 医用低ドリフトモノリシック容量形圧力センサの開発

Title Transcription

イヨウ テイドリフトモノリシック ヨウリョウケイ アツリョク センサ ノ カイハツ

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Note

研究課題番号: 60850075

研究代表者: 松尾正之 (東北大学)

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Details

  • NCID
    BB12548937
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    36, [4]p
  • Size
    26cm
  • Parent Bibliography ID
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