パルスプラズマCVD法によるダイヤモンド状炭素膜の機械的特性評価
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パルスプラズマCVD法によるダイヤモンド状炭素膜の機械的特性評価
[出版者不明], [2010]
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パルス プラズマ CVDホウ ニ ヨル ダイヤモンドジョウ タンソマク ノ キカイテキ トクセイ ヒョウカ
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注記
名古屋大学大学院工学研究科2010年度博士論文
学位の種類: 博士(工学)
学位授与年月日: 2010-09-28
報告番号: 甲第8948号
学位記番号: 工博第2395号