パルスプラズマCVD法によるダイヤモンド状炭素膜の機械的特性評価

Author(s)

    • 藤本, 真司 フジモト, シンジ

Bibliographic Information

パルスプラズマCVD法によるダイヤモンド状炭素膜の機械的特性評価

藤本真司 [著]

[出版者不明], [2010]

Title Transcription

パルス プラズマ CVDホウ ニ ヨル ダイヤモンドジョウ タンソマク ノ キカイテキ トクセイ ヒョウカ

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Note

名古屋大学大学院工学研究科2010年度博士論文

学位の種類: 博士(工学)

学位授与年月日: 2010-09-28

報告番号: 甲第8948号

学位記番号: 工博第2395号

Details

  • NCID
    BB12675592
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    123p
  • Size
    30cm
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