ダブル・クヌーセンセル-質量分析計の試作と化合物半導体材料製造の基礎研究

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ダブル・クヌーセンセル-質量分析計の試作と化合物半導体材料製造の基礎研究

研究代表者 阿座上竹四

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, 平成6年度）

[阿座上竹四], 1995.3

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ダブル・クヌーセンセル-シツリョウ ブンセキケイ ノ シサク ト カゴウブツ ハンドウタイ ザイリョウ セイゾウ ノ キソ ケンキュウ

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Note

課題番号: 05555196

平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書

参考文献: p57

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Details

  • NCID
    BB12762766
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    57枚
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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