ウルトラクリーン・プラズマプロセスシステムの開発

著者

• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ

書誌事項

ウルトラクリーン・プラズマプロセスシステムの開発

研究代表者 大見忠弘

（科学研究費補助金(国際学術研究)研究成果報告書, 平成6年度）

[大見忠弘], 1995.3

タイトル読み

ウルトラ クリーン・プラズマ プロセス システム ノ カイハツ

注記

課題番号: 05044074

平成6年度科学研究費補助金(国際学術研究)研究成果報告書

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB12770061
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 208p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN06787009