ウルトラクリーン・プラズマプロセスシステムの開発

Author(s)

• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ

Bibliographic Information

ウルトラクリーン・プラズマプロセスシステムの開発

研究代表者 大見忠弘

（科学研究費補助金(国際学術研究)研究成果報告書, 平成6年度）

[大見忠弘], 1995.3

Title Transcription

ウルトラ クリーン・プラズマ プロセス システム ノ カイハツ

Note

課題番号: 05044074

平成6年度科学研究費補助金(国際学術研究)研究成果報告書

• NCID: BB12770061
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 208p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN06787009