極限微細集積回路作製のための原子層成長制御CVD装置の開発研究
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極限微細集積回路作製のための原子層成長制御CVD装置の開発研究
（科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書, 平成4-6年度）
[室田淳一], 1995.3
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キョクゲン ビサイ シュウセキ カイロ サクセイ ノタメノ ゲンシソウ セイチョウ セイギョ CVD ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
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注記
課題番号: 04555064
平成4年度～平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書