シリサイド電極/ゲート絶縁膜界面の実効仕事関数制御技術の開発とその物理的起源に関する研究
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書誌事項
シリサイド電極/ゲート絶縁膜界面の実効仕事関数制御技術の開発とその物理的起源に関する研究
[出版者不明], [2008]
- タイトル別名
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シリサイド電極/ゲート絶縁膜界面の実効仕事関数制御技術の開発とその物理的起源に関する研究
- タイトル読み
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シリサイド デンキョク/ゲート ゼツエンマク カイメン ノ ジッコウ シゴト カンスウ セイギョ ギジュツ ノ カイハツ ト ソノ ブツリテキ キゲン ニ カンスル ケンキュウ
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注記
名古屋大学大学院工学研究科2008年度博士論文
学位の種類: 博士(工学)
学位授与年月日: 2008-10-31
報告番号: 甲第8147号
学位記番号: 工博第2251号