シリコンの選択酸化による細線光導波路の作製に関する研究

著者

• 飯山, 宏一 イイヤマ, コウイチ

書誌事項

シリコンの選択酸化による細線光導波路の作製に関する研究

研究代表者 飯山宏一

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成17年度～平成18年度）

[飯山宏一], 2007.3

タイトル読み

シリコン ノ センタク サンカ ニヨル サイセン ヒカリ ドウハロ ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ

注記

課題番号: 17560032

• NII書誌ID(NCID): BB12879650
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [金沢]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30764121