シリコンの選択酸化による細線光導波路の作製に関する研究

Author(s)

• 飯山, 宏一 イイヤマ, コウイチ

Bibliographic Information

シリコンの選択酸化による細線光導波路の作製に関する研究

研究代表者 飯山宏一

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成17年度～平成18年度）

[飯山宏一], 2007.3

Title Transcription

シリコン ノ センタク サンカ ニヨル サイセン ヒカリ ドウハロ ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ

Note

課題番号: 17560032

• NCID: BB12879650
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [金沢]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30764121