直接接合したIV族系半導体基板の開発と結晶性評価
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直接接合したIV族系半導体基板の開発と結晶性評価
[出版者不明], [2008]
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チョクセツ セツゴウ シタ IVゾクケイ ハンドウタイ キバン ノ カイハツ ト ケッショウセイ ヒョウカ
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注記
名古屋大学大学院工学研究科2008年度博士論文
学位の種類: 博士(工学)
学位授与年月日: 2009-03-25
報告番号: 甲第8437号
学位記番号: 工博第2285号