超高真空中でのSiC表面処理に関する研究

著者

• 久田, 祥之 ヒサダ, ヨシユキ

書誌事項

超高真空中でのSiC表面処理に関する研究

久田祥之 [著]

[出版者不明], [2004]

タイトル読み

チョウコウシンクウチュウ デノ SiC ヒョウメン ショリ ニ カンスル ケンキュウ

注記

名古屋大学大学院工学研究科2003年度博士論文

学位の種類: 博士(工学)

学位授与年月日: 2004-02-27

報告番号: 乙第6298号

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB13450689
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 153p
• 大きさ: 31cm