Study on carbon-gold-sulfide thin film by co-operation process of plasma CVD and sputtering
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Study on carbon-gold-sulfide thin film by co-operation process of plasma CVD and sputtering
[s.n.], [2004]
- タイトル別名
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プラスマCVDとスパッタリング共同プロセスによる炭素-金-硫黄薄膜の研究
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注記
Thesis (Ph.D.)--Nagoya University. Graduate School of Engineering, 2004
Kind of academic degree: 博士(工学)
Date degree granted: 2004-03-25
Report number: 甲第6246号
Diploma number: 工博第1821号