Studies on development of microwave excited non-equilibrium atmospheric pressure plasma source and its application to material processing
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Studies on development of microwave excited non-equilibrium atmospheric pressure plasma source and its application to material processing
[s.n.], [2005]
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マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマ源の開発と材料プロセスへの応用に関する研究
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注記
Thesis (Ph.D.)--Nagoya University. Graduate School of Engineering, 2005
Kind of academic degree: 博士(工学)
Date degree granted: 2005-03-25
Report number: 甲第6671号
Diploma number: 工博第1932号