基板励振による薄膜の残留応力制御法の開発
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基板励振による薄膜の残留応力制御法の開発
[出版者不明], [2004]
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キバン レイシン ニ ヨル ウスマク ノ ザンリュウ オウリョク セイギョホウ ノ カイハツ
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注記
名古屋大学大学院工学研究科2004年度博士論文
学位の種類: 博士(工学)
学位授与年月日: 2005-03-25
報告番号: 甲第6673号
学位記番号: 工博第1934号