Investigation on fracture behaviors of single crystal silicon films

著者

• 李, 雪萍 リ, セツヘイ li, xue ping

書誌事項

Investigation on fracture behaviors of single crystal silicon films

Xueping Li

[s.n.], [2005]

タイトル別名

単結晶シリコン薄膜の破壊挙動に関する研究

注記

Thesis (Ph.D.)--Nagoya University. Graduate School of Engineering, 2005

Kind of academic degree: 博士(工学)

Date degree granted: 2005-03-25

Report number: 甲第6675号

Diploma number: 工博第1936号

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB13563153
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [S.l.]
• ページ数/冊数: ii, 128 p.
• 大きさ: 30 cm