有機シリコン化合物を用いたプラズマCVDによる高分子基板へのシリカ膜形成に関する研究
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書誌事項
有機シリコン化合物を用いたプラズマCVDによる高分子基板へのシリカ膜形成に関する研究
[出版者不明], [2003]
- タイトル別名
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有機シリコン化合物を用いたプラズマCVDによる高分子基板へのシリカ膜形成に関する研究
- タイトル読み
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ユウキ シリコン カゴウブツ オ モチイタ プラズマ CVD ニヨル コウブンシ キバン エノ シリカマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
名古屋大学大学院工学研究科2002年度博士論文
学位の種類: 博士(工学)
学位授与年月日: 2003-03-25
報告番号: 甲第5884号
学位記番号: 工博第1768号
