イオンビーム支援蒸着法によるC-N膜の形成とトライボロジー材料への応用

著者

    • 太田, 英伸 オオタ, ヒデノブ

書誌事項

イオンビーム支援蒸着法によるC-N膜の形成とトライボロジー材料への応用

太田英伸 [著]

[出版者不明], [2002]

タイトル読み

イオン ビーム シエン ジョウチャクホウ ニヨル C-Nマク ノ ケイセイ ト トライボロジー ザイリョウ エノ オウヨウ

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注記

名古屋大学大学院工学研究科2001年度博士論文

学位の種類: 博士(工学)

学位授与年月日: 2002-03-25

報告番号: 甲第5477号

学位記番号: 工博第1654号

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB1377890X
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [出版地不明]
  • ページ数/冊数
    102枚
  • 大きさ
    30cm
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