Studies on spatial distribution of radicals in electron cyclotron resonance plasma
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Studies on spatial distribution of radicals in electron cyclotron resonance plasma
[s.n.], [2001]
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電子サイクロトロン共鳴プラズマ中のラジカル空間分布に関する研究
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注記
Thesis (Ph.D.)--Nagoya University. Graduate School of Engineering, 2001
Kind of academic degree: 博士(工学)
Date degree granted: 2001-03-26
Report number: 甲第5082号
Diploma number: 工博第1537号