Studies on development of measurement technique of absolute densities of atomic species in reactive plasma process using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy with microdischarge hollow cathode lamp
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Studies on development of measurement technique of absolute densities of atomic species in reactive plasma process using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy with microdischarge hollow cathode lamp
[s.n.], [2001]
- タイトル別名
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マイクロ放電ホローカソードランプを用いた真空紫外吸収分光法による反応性プラズマプロセス中の原子種の絶対密度計測技術の開発に関する研究
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注記
Thesis (Ph.D.)--Nagoya University. Graduate School of Engineering, 2001
Kind of academic degree: 博士(工学)
Date degree granted: 2001-03-26
Report number: 甲第5081号
Diploma number: 工博第1536号