シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価

Author(s)

    • 田島, 信宏 タジマ, ノブヒロ

Bibliographic Information

シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価

田島信宏 [著]

[出版者不明], [1999]

Title Transcription

シールドガタ アークイオンプレーティングホウ ニ ヨル タンソケイ コウシツ ウスマク ノ サクセイ ト ソノ コウゾウ オヨビ キカイテキ セイシツ ヒョウカ

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Note

名古屋大学大学院工学研究科1999年度博士論文

学位の種類: 博士 (工学)

学位授与年月日: 2000-03-27

報告番号: 甲第4691号

学位記番号: 工博第1398号

Details

  • NCID
    BB13918463
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    v, 138枚
  • Size
    30cm
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