集束イオンビームを用いたサブミクロンNb/A10x/Nbトンネル接合作製技術に関する研究

著者

• 赤池, 宏之 アカイケ, ヒロユキ

書誌事項

集束イオンビームを用いたサブミクロンNb/A10x/Nbトンネル接合作製技術に関する研究

赤池宏之 [著]

[出版者不明], [1995]

タイトル読み

シュウソク イオンビーム オ モチイタ サブミクロン Nb/A10x/Nb トンネル セツゴウ サクセイ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ

注記

名古屋大学1994年度博士論文

学位の種類: 博士(工学)

学位授与年月日: 1995-03-27

報告番号: 甲第3191号

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB14407186
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: iii, 136枚
• 大きさ: 30cm