Mechanism of chemical vapor deposition of methoxysilane over zeolites

著者

• 日比野, 高士 ヒビノ, タカシ

書誌事項

Mechanism of chemical vapor deposition of methoxysilane over zeolites

Takashi Hibino

[s.n.], [1991]

タイトル別名

ゼオライト上へのメトキシシランの化学蒸着の機構

注記

Thesis (Ph.D.)--Nagoya University. Graduate School of Engineering, 1991

Kind of academic degree: 工学博士

Date degree granted: 1991-03-25

Report number: 甲第2445号

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB14787509
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [S.l.]
• ページ数/冊数: 138 p.
• 大きさ: 26 cm