プラズマによる薄膜形成とその応用における水素の制御に関する研究

著者

• 豊田, 浩孝 トヨダ, ヒロタカ

書誌事項

プラズマによる薄膜形成とその応用における水素の制御に関する研究

豊田浩孝 [著]

[出版者不明], [1988]

タイトル読み

プラズマ ニ ヨル ハクマク ケイセイ ト ソノ オウヨウ ニオケル スイソ ノ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ

注記

名古屋大学1987年度博士論文

学位の種類: 工学博士

学位授与年月日: 1988-03-25

報告番号: 甲第2063号

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB15016708
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 97p
• 大きさ: 30cm