イオン注入による二酸化シリコン中のナノサイズシリコン微結晶の形成

Author(s)

    • 岩山, 勉 イワヤマ, ツトム

Bibliographic Information

イオン注入による二酸化シリコン中のナノサイズシリコン微結晶の形成

岩山勉 [著]

[出版者不明], [1995]

Title Transcription

イオン チュウニュウ ニヨル ニサンカ シリコンチュウ ノ ナノサイズ シリコン ビケッショウ ノ ケイセイ

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Note

名古屋大学大学院研究科1994年度博士論文

学位の種類: 博士(理学)

学位授与年月日: 1995-03-01

報告番号: 乙第4741号

副論文3編及び参考論文4編あり

Details

  • NCID
    BB15067902
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    86枚
  • Size
    30cm
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