半導体プロセスガス安全データ集

著者

• 特殊ガス工業会 トクシュ ガス コウギョウカイ
• SEMIジャパン SEMI ジャパン

書誌事項

半導体プロセスガス安全データ集

特殊ガス工業会,SEMIスタンダード設備・安全性部会共著

SEMIジャパン, 1993.7

増補改訂版

タイトル読み

ハンドウタイ プロセス ガス アンゼン データシュウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB15787821
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 294p
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体