Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

著者

• González Ruiz, Pilar
• Meyer, Kristin De
• Witvrouw, Ann

書誌事項

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

Pilar Gonzalez Ruiz, Kristin De Meyer, Ann Witvrouw

（Advanced microelectronics, 44）

Springer, c2014

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB15832449
• ISBN:
  • 9789400767980
• LCCN: 2013940084
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Dordrecht
• ページ数/冊数: xvi, 199 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
• 件名:
  • LCSH : Engineering
  • LCSH : Systems engineering
  • LCSH : Optical materials
  • LCSH : Surfaces (Physics)
  • LCSH : Physics
• 親書誌ID:
  • BA41247416