CMOS-MEMS

著者

• Brand, Oliver
• Fedder, Gary K.

書誌事項

CMOS-MEMS

volume editors, Oliver Brand, Gary K. Fedder

（Advanced micro & nanosystems）

Wiley-VCH, c2013

注記

Includes bibliographical references and index

"First edition 2005"--t.p.verso

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB16008840
• ISBN:
  • 9783527334995
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim
• ページ数/冊数: xiv, 594 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • DC22 : 621.3815
• 件名:
  • LCSH : Metal oxide semiconductors, Complementary
  • LCSH : Microelectromechanical systems
• 親書誌ID:
  • BA70371204