Enabling technology for MEMS and nanodevices

著者

• Baltes, H. (Henry)

書誌事項

Enabling technology for MEMS and nanodevices

edited by Henry Baltes...[et al.]

（Advanced micro & nanosystems）

Wiley-VCH, c2013

注記

Includes bibliographical references and index

"First edition 2004"--t.p.verso

Other authors : Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB16009446
• ISBN:
  • 9783527334988
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim
• ページ数/冊数: xii, 427 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • DC22 : 620.5
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Nanotechnology
• 親書誌ID:
  • BA70371204