シリコン単結晶中の不純物酸素および微小欠陥に関する研究
著者
書誌事項
シリコン単結晶中の不純物酸素および微小欠陥に関する研究
[出版者不明], [1982]
- タイトル読み
-
シリコン タンケッショウチュウ ノ フジュンブツ サンソ オヨビ ビショウ ケッカン ニ カンスル ケンキュウ
大学図書館所蔵 件 / 全1件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
名古屋大学大学院工学研究科1982年度博士論文
学位の種類: 工学博士
学位授与年月日: 1982-11-09
報告番号: 乙第2247号