シリコン単結晶中の不純物酸素および微小欠陥に関する研究

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シリコン単結晶中の不純物酸素および微小欠陥に関する研究

志村史夫 [著]

[出版者不明], [1982]

Title Transcription

シリコン タンケッショウチュウ ノ フジュンブツ サンソ オヨビ ビショウ ケッカン ニ カンスル ケンキュウ

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Note

名古屋大学大学院工学研究科1982年度博士論文

学位の種類: 工学博士

学位授与年月日: 1982-11-09

報告番号: 乙第2247号

Details

  • NCID
    BB16022091
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    iii, 183枚
  • Size
    30cm
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