MEMSデバイス総論

著者

• 植田, 敏嗣 ウエダ, トシツグ

書誌事項

MEMSデバイス総論

植田敏嗣監修

S&T出版, 2014.7

• : 新装版

タイトル読み

MEMS デバイス ソウロン

注記

参考文献: 各章末

新装版(オンデマンド印刷)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB16073911
• ISBN:
  • 9784907002299
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 301p
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDC9 : 530
  • NDLC : NB21
• 件名:
  • NDLSH : マイクロマシン