ナノインプリントにおける離型問題の評価とその対策

著者

• 谷口, 淳 タニグチ, ジュン
• 好野, 則夫 ヨシノ, ノリオ
• 坂井, 信支 サカイ, ノブジ

書誌事項

ナノインプリントにおける離型問題の評価とその対策

谷口淳, 好野則夫, 坂井信支執筆

（Technology direction series）

リアライズ理工センター, 2010.5

タイトル読み

ナノインプリント ニオケル リガタ モンダイ ノ ヒョウカ ト ソノ タイサク

注記

参考文献: 各章末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB17017723
• ISBN:
  • 9784898081051
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 4, 2, 59p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
• 件名:
  • BSH : ナノインプリント
• 親書誌ID:
  • BB0104955X