ナノインプリントにおける離型問題の評価とその対策

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ナノインプリントにおける離型問題の評価とその対策

谷口淳, 好野則夫, 坂井信支執筆

（Technology direction series）

リアライズ理工センター, 2010.5

Title Transcription

ナノインプリント ニオケル リガタ モンダイ ノ ヒョウカ ト ソノ タイサク

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Note

参考文献: 各章末

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Details

  • NCID
    BB17017723
  • ISBN
    • 9784898081051
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    4, 2, 59p
  • Size
    30cm
  • Classification
  • Subject Headings
  • Parent Bibliography ID
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