System-level modeling of MEMS

著者

• Bechtold, Tamara
• Schrag, Gabriele
• Feng, Lihong

書誌事項

System-level modeling of MEMS

edited by Tamara Bechtold, Gabriele Schrag, and Lihong Feng

（Advanced micro & nanosystems, Vol. 10）

Wiley-VCH, c2013

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB1735967X
• ISBN:
  • 9783527319039
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim
• ページ数/冊数: xxxii, 530 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC23 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Microelectromechanical systems -- Mathematical models
• 親書誌ID:
  • BA70371204