現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

Author(s)

• 小島, 啓安 コジマ, ヒロヤス

Bibliographic Information

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

小島啓安著

日刊工業新聞社, 2015.2

第2版

Title Transcription

ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク Q&A : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス

Note

参考文献: p425-434

Description and Table of Contents

Description

反応性高速スパッタの実務アドバイス。

Table of Contents

• 第１部　基礎編（はじめに；スパッタリングの基礎知識；いろいろなスパッタ法；反応性高速スパッタ法）
• 第２部　実践編（ターゲットとカソード；アーキング対策とアノード；コンポーネント；膜質）
• 第３部　応用編（装置；測定；応用；未来へ）

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• NCID: BB18417137
• ISBN:
  • 9784526073663
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: ix, 437p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• Subject Headings:
  • BSH : 薄膜
  • BSH : 真空技術