現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
日刊工業新聞社, 2015.2
第2版
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ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク Q&A : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
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Note
参考文献: p425-434
Description and Table of Contents
Description
反応性高速スパッタの実務アドバイス。
Table of Contents
- 第１部 基礎編（はじめに；スパッタリングの基礎知識；いろいろなスパッタ法；反応性高速スパッタ法）
- 第２部 実践編（ターゲットとカソード；アーキング対策とアノード；コンポーネント；膜質）
- 第３部 応用編（装置；測定；応用；未来へ）
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