Automated scanning low-energy electron probe (ASLEEP) for semiconductor wafer diagnostics

著者

• Christou, A.

書誌事項

Automated scanning low-energy electron probe (ASLEEP) for semiconductor wafer diagnostics

A. Christou

（NBS special publication, 400-30 . Semiconductor measurement technology）

U.S. G.P.O., 1978

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• Automated scanning low-energy electron probe (ASLEEP) for semiconductor wafer diagnostics / A. Christou.

  1978

  HathiTrust

  

• Automated scanning low-energy electron probe (ASLEEP) for semiconductor wafer diagnostics / A. Christou. (400-30)

  1978

  HathiTrust

  

注記

Includes bibliographical references

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB18755286
• LCCN: 78002200
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Washington
• ページ数/冊数: v, 32 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : QC100
  • LCC : TK7878.6
  • DC : 602.1 s
  • DC : 621.3815/48
• 件名:
  • LCSH : Probes (Electronic instruments)
  • LCSH : Semiconductor wafers -- Testing
• 親書誌ID:
  • BA0011083X