Angular sensitivity of controlled implanted doping profiles

著者

• Wilson, Robert G.
• Dunlap, Howard L.
• Jamba, Douglas M.
• Myers David R.

書誌事項

Angular sensitivity of controlled implanted doping profiles

Robert G. Wilson ... [et al.]

（NBS special publication, 400-49 . Semiconductor measurement technology）

U.S. G.P.O., 1978

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• Angular sensitivity of controlled implanted doping profiles / Robert G. Wilson ... [et al.].

  1978

  HathiTrust

  

• Angular sensitivity of controlled implanted doping profiles / Robert G. Wilson ... [et al.]. (no.400:49)

  1978

  HathiTrust

  

注記

Includes bibliographical references

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB18855815
• LCCN: 78010624
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Washington
• ページ数/冊数: vii, 54 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : QC100
  • LCC : TK7871.85
  • DC : 602/.1 s
  • DC : 621.3815/2/028
• 件名:
  • LCSH : Semiconductor doping
  • LCSH : Ion implantation
  • LCSH : Integrated circuits
• 親書誌ID:
  • BA0011083X