A wafer chuck for use between -196 and 350[0]C

著者

• Koyama, R. Y.
• Buehler, M. G.

書誌事項

A wafer chuck for use between -196 and 350[0]C

R.Y. Koyama and M.G. Buehler

（NBS special publication, 400-55 . Semiconductor measurement technology）

U.S. G.P.O., 1979

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• A wafer chuck for use between -196 and 350⁰C / R.Y. Koyama and M.G. Buehler.

  1979

  HathiTrust

  

• A wafer chuck for use between -196 and 350⁰C / R.Y. Koyama and M.G. Buehler. (no.400:55)

  1979

  HathiTrust

  

注記

Bibliography: p. 13

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB18866709
• LCCN: 78600155
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Washington
• ページ数/冊数: vi, 17 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : QC100
  • LCC : TK7871.85
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Testing -- Equipment and supplies
  • LCSH : Probes (Electronic instruments)
• 親書誌ID:
  • BA0011083X